Квантум Парк МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» открыли приём заявок на первый контрактный запуск производства фотонных интегральных схем в формате MPW (Multi Project Wafer) с совместным использованием площади кремниевых пластин несколькими заказчиками.
Первой доступной технологической платформой станет техпроцесс на основе нитрида кремния (SiN). Он обеспечивает сверхнизкие потери сигнала в фотонных чипах — до 0,05 дБ/см, что соответствует уровню ведущих мировых исследовательских и производственных центров.
Заявки могут подать ведущие научные группы РАН, университетов, индустриальных компаний и стартапы, работающие в области интегральной фотоники. Научную экспертизу пилотного запуска обеспечивает Российская академия наук. Области применения фотонных интегральных схем на нитриде кремния включают: квантовые и высокопроизводительные вычисления, индустриальную и биосенсорику, микрофлюидику, телекоммуникационные системы, твердотельные лидары, AR/VR и другие направления.
Для подачи заявок и получения подробной технологической документации необходимо обращаться в МГТУ им. Н.Э. Баумана по электронной почте: quantum@bmstu.ru.
Прием заявок: до 30.05.2026.
Готовность чипов пилотной партии: третий квартал 2026.
Пилотный запуск полностью профинансирован МГТУ им. Н.Э. Баумана за счёт собственных средств. Разработка техпроцесса и его адаптация под контрактное производство выполнены в рамках стратегического технологического проекта «Экзафлопсные гибридные вычисления (Bauman DeepTech)» программы «Приоритет 2030» Министерства науки и высшего образования РФ.
В рамках пилотного запуска будут изготовлены фотонные интегральные схемы на основе волноводов из нитрида кремния (толщина волноводного слоя SiN — 220 нм) с минимальным размером элементов 70 нм и минимальными зазорами 200 нм. Минимальная доступная площадь кристалла составляет 55 мм², при необходимости площадь может быть увеличена.
Для внешних заказчиков в ходе пилотного запуска будет выделено до 100 кристаллов с индивидуальными топологиями (в формате .GDS). Это позволит обеспечить максимальный охват российских разработчиков.
В основе пакета для проектирования технологии (Process Design Kit, PDK) лежит спроектированная и апробированная командой фотоники ЭКБ ФИС кластера Квантум Парк библиотека элементов для длины волны 1550 нм:
- одномодовые волноводы – потери менее 0,1 дБ/см (типовые 0,05 дБ/см);
- дифракционные решётки для ввода излучения – гарантированные потери менее 6 дБ (типовые до 4,5 дБ), полоса пропускания 30 нм;
- элементы ввода излучения в торец кристалла ФИС – потери менее 3 дБ (типовые до 0,6 дБ);
- кольцевые микрорезонаторы – внутренняя добротность более 1 млн (типовые до 5 млн);
- Y-делители – потери менее 1,5 дБ (типовые менее 0,7 дБ);
- сонаправленные делители 50:50 – потери менее 0,5 дБ (типовые менее 0,2 дБ);
- термооптические модуляторы – частота более 10 кГц, площадь менее 0,002 мм2, энергопотребление 200 мВт.
Команда Квантум Парка готова оказать заказчикам полную экспертную поддержку на всех этапах: от физического моделирования и разработки топологии устройств до их изготовления и характеризации.
Заказчикам предоставляются правила проектирования элементов и библиотека ЭКБ ФИС. Для исключения ошибок все разработанные топологии проходят автоматическую проверку со стороны изготовителя.
Для наиболее перспективных проектов возможна оптоэлектронная сборка изготовленных кристаллов. Это позволит сразу использовать готовое устройство для решения практических индустриальных задач.
«Развитие отечественной фотоники – это не просто вопрос научной конкурентоспособности, это базис для создания элементной базы следующего поколения. Запустив серийное производство ФИС в 2024 году, мы сделали важный шаг от лабораторных прототипов к доступной промышленной кооперации с ведущими бигтехами России. Сегодня мы открываем эти возможности для научных команд. Мы создаем среду, где университеты и высокотехнологичный бизнес могут говорить на одном технологическом языке», – комментирует запуск Михаил Гордин, ректор МГТУ им. Н.Э. Баумана.
«Почти 10 лет мы шли к тому, чтобы российские разработчики могли создавать фотонные чипы мирового уровня «дома». Сегодня наша технология соответствует мировым стандартам и параметрам R&D фабов LIGENTEC и LioniX International – лидеров мировой фотоники. Запуск производства ФИС в Квантум Парке снимает главный барьер – скорость цикла инновационных разработок в области интегральной фотоники. Мы открываем доступ к высокотехнологичной гонке для университетов, научных групп и стартапов», – отметил Илья Родионов, руководитель кластера Квантум Парк МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА им. Н.Л. Духова».
